VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Silicon (Un-doped): Valence Bands, 0.05 eV/step
1
Ion Etched Clean
NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1
Ion Etched Clean
Silicon (Un-doped): Valence Bands, 0.05 eV/step
2003
5
10
15
31
2
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
54.96
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
15
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
30
4.00E-06
0
0
0
0
802
11
1556
0.0991937
0.100746
336
0.100746
323
0.100742
368
0.100738
326
0.100734
333
0.10073
372
0.100726
351
0.100722
366
0.100718
342
0.100714
334
0.10071
351
0.100706
353
0.100702
357
0.100698
349
0.100694
364
0.100691
328
0.100687
360
0.100683
374
0.100679
335
0.100675
339
0.100671
358
0.100667
392
0.100663
382
0.100659
373
0.100655
375
0.100651
390
0.100647
382
0.100643
379
0.100639
394
0.100636
414
0.100632
395
0.100628
418
0.100624
380
0.10062
363
0.100616
405
0.100612
407
0.100608
389
0.100604
408
0.1006
400
0.100596
449
0.100592
425
0.100588
444
0.100584
450
0.100581
432
0.100577
471
0.100573
438
0.100569
458
0.100565
472
0.100561
470
0.100557
516
0.100553
467
0.100549
495
0.100545
511
0.100541
481
0.100537
480
0.100533
531
0.10053
540
0.100526
506
0.100522
510
0.100518
583
0.100514
530
0.10051
529
0.100506
562
0.100502
598
0.100498
582
0.100494
614
0.10049
614
0.100486
604
0.100483
578
0.100479
581
0.100475
602
0.100471
606
0.100467
672
0.100463
601
0.100459
633
0.100455
670
0.100451
648
0.100447
659
0.100443
702
0.100439
655
0.100436
731
0.100432
713
0.100428
788
0.100424
788
0.10042
854
0.100416
771
0.100412
862
0.100408
885
0.100404
914
0.1004
977
0.100396
1030
0.100393
1020
0.100389
1066
0.100385
1084
0.100381
1114
0.100377
1167
0.100373
1165
0.100369
1197
0.100365
1204
0.100361
1207
0.100357
1276
0.100353
1233
0.10035
1269
0.100346
1244
0.100342
1350
0.100338
1375
0.100334
1449
0.10033
1448
0.100326
1387
0.100322
1423
0.100318
1467
0.100314
1521
0.10031
1549
0.100307
1506
0.100303
1556
0.100299
1535
0.100295
1426
0.100291
1417
0.100287
1412
0.100283
1421
0.100279
1231
0.100275
1293
0.100271
1236
0.100268
1233
0.100264
1147
0.10026
1145
0.100256
1093
0.100252
1058
0.100248
950
0.100244
917
0.10024
924
0.100236
873
0.100232
928
0.100229
793
0.100225
819
0.100221
821
0.100217
768
0.100213
738
0.100209
743
0.100205
763
0.100201
734
0.100197
775
0.100193
709
0.10019
705
0.100186
682
0.100182
698
0.100178
713
0.100174
698
0.10017
702
0.100166
711
0.100162
672
0.100158
695
0.100154
673
0.100151
680
0.100147
641
0.100143
675
0.100139
666
0.100135
689
0.100131
679
0.100127
673
0.100123
703
0.100119
640
0.100116
656
0.100112
641
0.100108
645
0.100104
585
0.1001
600
0.100096
592
0.100092
641
0.100088
625
0.100084
637
0.100081
625
0.100077
612
0.100073
644
0.100069
629
0.100065
580
0.100061
591
0.100057
594
0.100053
611
0.100049
586
0.100046
586
0.100042
545
0.100038
631
0.100034
574
0.10003
532
0.100026
539
0.100022
579
0.100018
583
0.100015
585
0.100011
546
0.100007
515
0.100003
516
0.099999
520
0.0999951
530
0.0999912
515
0.0999873
555
0.0999835
525
0.0999796
490
0.0999757
533
0.0999718
474
0.0999679
481
0.0999641
513
0.0999602
433
0.0999563
509
0.0999524
537
0.0999485
484
0.0999447
485
0.0999408
474
0.0999369
568
0.099933
476
0.0999292
498
0.0999253
529
0.0999214
499
0.0999175
539
0.0999136
540
0.0999098
510
0.0999059
502
0.099902
497
0.0998981
550
0.0998943
518
0.0998904
553
0.0998865
559
0.0998827
538
0.0998788
556
0.0998749
533
0.099871
523
0.0998672
536
0.0998633
548
0.0998594
555
0.0998555
537
0.0998517
568
0.0998478
551
0.0998439
560
0.0998401
530
0.0998362
611
0.0998323
572
0.0998284
553
0.0998246
566
0.0998207
569
0.0998168
589
0.099813
555
0.0998091
551
0.0998052
572
0.0998014
610
0.0997975
575
0.0997936
507
0.0997898
568
0.0997859
570
0.099782
547
0.0997782
527
0.0997743
552
0.0997704
548
0.0997666
563
0.0997627
528
0.0997588
579
0.099755
573
0.0997511
549
0.0997472
487
0.0997434
510
0.0997395
528
0.0997357
509
0.0997318
497
0.0997279
498
0.0997241
501
0.0997202
515
0.0997163
496
0.0997125
475
0.0997086
466
0.0997048
479
0.0997009
416
0.099697
432
0.0996932
429
0.0996893
377
0.0996855
407
0.0996816
352
0.0996777
346
0.0996739
369
0.09967
291
0.0996662
305
0.0996623
264
0.0996585
259
0.0996546
228
0.0996507
232
0.0996469
223
0.099643
196
0.0996392
173
0.0996353
121
0.0996315
140
0.0996276
117
0.0996237
104
0.0996199
99
0.099616
78
0.0996122
74
0.0996083
61
0.0996045
60
0.0996006
46
0.0995968
44
0.0995929
45
0.0995891
36
0.0995852
26
0.0995814
38
0.0995775
29
0.0995737
24
0.0995698
26
0.099566
23
0.0995621
20
0.0995583
27
0.0995544
15
0.0995506
28
0.0995467
25
0.0995429
24
0.099539
21
0.0995352
24
0.0995313
24
0.0995275
23
0.0995236
21
0.0995198
29
0.0995159
22
0.0995121
22
0.0995082
22
0.0995044
32
0.0995005
21
0.0994967
11
0.0994928
23
0.099489
17
0.0994851
22
0.0994813
18
0.0994775
23
0.0994736
21
0.0994698
24
0.0994659
29
0.0994621
17
0.0994582
20
0.0994544
20
0.0994506
21
0.0994467
23
0.0994429
26
0.099439
21
0.0994352
26
0.0994313
16
0.0994275
30
0.0994237
30
0.0994198
20
0.099416
26
0.0994121
15
0.0994083
15
0.0994045
13
0.0994006
16
0.0993968
18
0.099393
23
0.0993891
27
0.0993853
27
0.0993814
26
0.0993776
28
0.0993738
17
0.0993699
15
0.0993661
25
0.0993623
25
0.0993584
20
0.0993546
26
0.0993507
35
0.0993469
31
0.0993431
31
0.0993392
21
0.0993354
21
0.0993316
22
0.0993277
23
0.0993239
21
0.0993201
20
0.0993162
27
0.0993124
32
0.0993086
18
0.0993047
22
0.0993009
25
0.0992971
26
0.0992933
16
0.0992894
23
0.0992856
19
0.0992818
22
0.0992779
18
0.0992741
19
0.0992703
17
0.0992664
21
0.0992626
23
0.0992588
22
0.099255
18
0.0992511
21
0.0992473
25
0.0992435
13
0.0992396
16
0.0992358
16
0.099232
27
0.0992282
17
0.0992243
26
0.0992205
17
0.0992167
20
0.0992129
18
0.099209
21
0.0992052
18
0.0992014
22
0.0991976
24
0.0991937
end of experiment
